
有網(wǎng)友問光刻機(jī)是誰發(fā)明的,今天就給大家講解一下光刻機(jī)是誰發(fā)明的。
法國人Nicephore niepce。盡管光刻機(jī)發(fā)明的時間較早,但并沒有在各行業(yè)領(lǐng)域之中被使用,直到第2次世界大戰(zhàn)時,該技術(shù)應(yīng)用于印刷電路板,所使用的材料和早期發(fā)明時使用的材料也已經(jīng)有了極大區(qū)別,在塑料板上通過銅線路制作,讓電路板得以普及,短期之內(nèi)就成為了眾多電子設(shè)備領(lǐng)域中關(guān)鍵材料之一。
光刻機(jī):
光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動。
A手動:指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn),對準(zhǔn)精度可想而知不高了;
B半自動:指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;
C自動:指的是從基板的上載下載,曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機(jī)主要是滿足工廠對于處理量的需要。
以上就是光刻機(jī)是誰發(fā)明的,希望對大家有所幫助。















