
有網(wǎng)友問(wèn)duv和euv技術(shù)區(qū)別,今天就給大家講解一下duv和euv技術(shù)區(qū)別。
DUV是深紫外線(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是極深紫外線(Extreme Ultraviolet Lithography)。從制程范圍來(lái)看,DUV基本上只能做到25nm,Intel憑借雙工作臺(tái)的模式做到了10nm,但是卻無(wú)法達(dá)到10nm以下。只有EUV能滿足10nm以下的晶圓制造,并且還可以向5nm、3nm繼續(xù)延伸。
以上就是duv和euv技術(shù)區(qū)別,希望對(duì)大家有所幫助。















